UT-1000A平臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供的主動隔振性能(從0.5Hz開始)。UT-1000A平臺通過消除，干擾測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡中獲得更多信息。UT-1000A平臺采用了模塊化設(shè)計(jì)，簡化了安裝過程，從而在安裝時不需要為大多數(shù)儀器安裝專用的起重設(shè)備。

壓電傳感器與驅(qū)動器

Herz主動式減震系統(tǒng)功能：

• 主動減震范圍 1 to 200 Hz (搭配LFS 系統(tǒng)由0.5Hz開始)

• 被動減震模式 ≥200 Hz
  

• 隔離來自六個自由度的振動
  

• 無低頻共振
  

• 壓電傳感器和驅(qū)動器
  

• 內(nèi)部反饋回路阻尼諧振

Herz主動式減震系統(tǒng)設(shè)計(jì)及維護(hù)：

• 緊湊，模塊化的設(shè)計(jì)

• 安裝方便，無需持久維護(hù) 安裝后基本不改變顯微鏡的整體輪廓 為每臺電鏡做單一的定制

熱門應(yīng)用

Herz-UT-1000A平臺廣泛的應(yīng)用于高負(fù)載顯微鏡和其他對低頻振動噪聲敏感的精密型研究儀器。Herz-UT-1000A平臺常見的應(yīng)用是電子顯微鏡，它支持掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡。Herz-UT-1000A平臺的扁平化模塊設(shè)計(jì)是有利的，因?yàn)樗喕税惭b過程，消除了持續(xù)維護(hù)的必要。

• Herz-UT-1000A 平臺廣泛應(yīng)用于SEMs & TEMs

• 真空掃描探針顯微鏡 (UHV-SPM)

• 光刻設(shè)備 高精度計(jì)量設(shè)備 光譜測量設(shè)備 And More!

UT-1000A Supporting A FEI Titan TEM

      由于UT-1000A平臺的模塊化設(shè)計(jì)，重3500公斤的Titan可以由四個減震 模塊來支持。這幅圖像描繪了一個由UT-1000A平臺支持的FEI Titan TEM，它以前受到低頻振動噪聲的干擾。

UT-1000A Supporting A FEI QEMSCAN 650 SEM

UT-1000A平臺通常對與掃描電子顯微鏡搭配，掃描電子顯微鏡有多種尺寸和形狀。UT-1000A平臺的優(yōu)點(diǎn)是，它們不需要專業(yè)的吊裝設(shè)備或索具系統(tǒng)進(jìn)行安裝，只需要SEMs內(nèi)部調(diào)平腳升高到足夠高(5英寸)就可以將防振模塊放置在下面。由上幅圖像可以看到，一 臺FEI QEMSCAN 650 SEM，被安裝在支撐SEM框架的UT-1000A平臺上。安裝后，SEM很快開始從測量中獲得比之前更好的成像質(zhì)量。

UT-1000A Supporting A Carl Zeiss SIGMA VP SEM

Carl Zeiss scanning electron microscopes 常用的減震方案是搭配UT-1000A. 由于其設(shè)計(jì)一，內(nèi)部框架易于使用，UT-1000A平臺可以在一小時內(nèi)安裝，不需要吊裝設(shè)備。上圖顯示的是Carl Zeiss SIGMA VP 在與UT-1000A 平臺的搭配.