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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心暖通環(huán)保控制器ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列
產(chǎn)品簡介：

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-11-20

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：390

服務(wù)熱線

4006981718

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產(chǎn)品介紹

美國ALICAT 21VS系列帶截止閥抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。此外，21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計的，如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態(tài)下其最大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所

● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 工業(yè)爐窯

● 汽車制造

● 計量校準(zhǔn)

● 過程工藝氣體測量

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列產(chǎn)品特色


● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 帶氣動截止閥，泄漏率低

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 可選高精度    優(yōu)于0.5%

● 高量程比 100：1

● 響應(yīng)時間快 僅需100 ms（可調(diào)）

● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了128種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    100:1

最大顯示流量：102.4%FS

顯 示  屏    帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

                   高 精  度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

                   僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門泄漏率    不超過1x10 atm scc/sec (He)

重 復(fù)  性    ± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移    0.02% FS / ℃ / Atm

響應(yīng)時間    100ms 預(yù)熱時間：<1s

標(biāo)定工況    25℃  & 100kPa 絕壓

                  20℃  & 100kPa 絕壓

                  0  ℃  & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度    -10 ～ +50 ?C

工作濕度    0-100%,無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力    1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ～ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材       質(zhì)    316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安裝方式    對位置無要求

防護(hù)等級    IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們

氣體編碼


ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列

* 混合氣體編碼為“800"，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900"。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。


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