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PRODUCT CLASSIFICATION一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀采用工業(yè)化設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析,并輸出分析報(bào)告。是用于薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制的解決方案。
多波長(zhǎng)橢偏儀采用壽命長(zhǎng) LED 光源和非移動(dòng) 式部件橢偏探測(cè)器,可在操作簡(jiǎn)單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)可靠地薄膜測(cè)量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡(jiǎn)單的 1 秒測(cè)量,就可以獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測(cè)量大多數(shù)樣品的光學(xué)常數(shù)和其他薄膜特性。
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